Просвечивающий 200 кВ электронный супермикроскоп FE-TEM HF5000 Hitachi HT.
HF5000 – это супермикроскоп, соединяющий в себе одновременно функции TEM и STEM. Наличие Сs корректора позволяет достигнуть разрешения менее 0,1 нм. Юстировка микроскопа, выведение астигматизма, центрирование пучка, автофокус, автоконтраст являются автоматизированными.Оригинальные держатели Hitachi с улучшенными рабочими характеристиками.
Пространственное разрешение 0,078 нм в STEM достигается вместе с высокой возможностью наклона образца и детектором (ами) EDX с большим телесным углом, и все это в конфигурации с одной линзой объектива.
В HF5000 используются функции Hitachi HD-2700, предназначенного для STEM, включая собственный полностью автоматизированный корректор аберраций Hitachi, симметричный двойной SDD EDX и визуализацию SE с коррекцией Cs. Он также включает в себя передовые технологии TEM/STEM, разработанные в серии HF.
Интеграция этих накопленных технологий в новую платформу TEM/STEM на 200 кВ приводит к созданию прибора с оптимальным сочетанием суб-Å-визуализации и анализа, а также гибкости и уникальных возможностей для проведения самых передовых исследований.
Вещь | Описание | |
---|---|---|
Источник электронов | W(310) источник электронов с холодной автоэлектронной эмиссией | |
Ускоряющее напряжение | 200 кВ, 60 кВ *1 | |
Разрешение изображения |
КОРЕНЬ | 0,078 нм (изображение ADF-STEM) |
ТЕМ | 0,102 нм (решетчатое изображение) | |
Увеличение | КОРЕНЬ | ×20~×8 000 000 |
ТЕМ | ×100~×1 500 000 | |
Стадия образца | Стадия образца | Эуцентрический гониометр 5-осевой предметный столик |
Размер образца | 3 мм | |
Образец траверса | X, Y=±1,0 мм, Z=±0,4 мм | |
Наклон образца | α=±25°, β=±35°(Двусторонний держатель образца Hitachi *1 ) | |
Корректор аберраций | Собственный корректор сферической аберрации, формирующий зонд Hitachi (стандартное оборудование) | |
Отображение изображения | Монитор | ЖК-панель шириной 27 дюймов (для стандартного монитора и второго монитора *1 ) |
Камера |
Стандартная выдвижная камера Экранная камера *1 (для просмотра флуоресцентного экрана) |
Вещь | Ширина×Глубина×Высота(мм) | Вес (кг) |
---|---|---|
Колонка (включая электронную пушку) | 1060×1742×2970 | 1940 |
Крышка основного блока | 1678×1970×3157 | 429 |
Консольный блок | 1400×819×740 | 132 |
Расширение консоли * 1 | 580×819×740 | 53 |
ФЭ танк | 1041×840×1317 | 482 |
Танк V0 | 398×630×1046 | 164 |
Блок питания управления | 1400×693×816 | 173 |
Питание корректора | 606×529×1096 | 81 |
Эвакуационный источник питания | 913×663×1790 | 378 |
Источник питания отклонения | 913×663×1790 | 394 |
Масса | 280×130×130 | 23 |
Гатан контроллер * 1 * 2 | 576×648×1173 | 150 |
Блок управления охлаждающей водой | 470×540×350 | 25 |
Рециркулятор охлаждающей воды *1 *2 | 970×970×1064 | 95 |
Сухой насос * 1 | 252×400×336 | 23 |
Воздушный компрессор * 1 | 275×560×576 | 25 |
Вещь | Описание | |
---|---|---|
Комнатная температура | 15 ~ 23 ℃ (колебание температуры: 0,2 ℃ / ч или меньше) | |
Влажность | 40~60% относительной влажности | |
Сила | Основной модуль |
Однофазный переменный ток 200~240 В ±10%, 50/60 Гц, 10 кВА Номинал автоматического выключателя 50 А |
Рециркулятор воды *1 *2 | Трехфазный переменный ток 200 В ±5%, 50/60 Гц, 30 А | |
Клемма заземления | Заземление класса D (сопротивление заземления: 100 Ом или менее) | |
Охлаждающая вода | Скорость потока |
5,1~5,3 л/мин 1 система, 2,0~2,2 л/мин 1 система (давление 0,25 МПа) |
Температура воды | 16 ~ 18 ℃ (колебание температуры: ± 0,1 ℃ или меньше) | |
Газ | СФ 6 | 99,9% или выше, 180 к~200 кПа |
№ 2 | 99,99% или выше, 0~100 кПа | |
Воздуха | 600 к~800 кПа |