SU5000 — это многозадачный РЭМ с катодом Шоттки, прекрасно подходящий для решения широкого круга аналитических задач. Благодаря новому источнику электронов, который обеспечивает стабильный ток пучка в диапазоне от 1пА до 200 нА, микроскоп совмещает возможность ультра быстрого анализа и высокого разрешения.
В приборе используется конструкция объективной линзы типа Out-of-Lens, что даёт возможность работы с магнитными образцами. Камера микроскопа имеет порты для установки всех распространённых аналитических приставок, включая EDS, WDS и EBSD. Работа с чувствительными образцами возможна благодаря режиму торможения электронов (до 100В). Непроводящие или влажные образцы могут быть просмотрены в режиме неглубокого вакуума (VP-SEM), причём переход в этот режим осуществляется нажатием одной кнопки в управляющей программе. Для режима VP-SEM доступен специальный детектор вторичных электронов (UVD детектор).
Катод Шоттки, установленный на растровый микроскоп SU5000, выдает стабильный ток пучка, позволяя проводить быстрый анализ при высоком разрешении (1,2 нм). К камере прибора могут подключаться всевозможные аналитические приставки (EDS, WDS). Режим VP-SEM (неглубокий вакуум) с доступным детектором вторичных электронов дает возможность исследовать непроводящие образцы. Работа с магнитными объектами осуществляется благодаря конструкции линзы Out-of-Lens. Высокого увеличения (800000) достаточно для тщательного изучения образца.
