SU7000 оснащен большой камерой образцов с 18 портами для установки всех возможных аналитических приставок, позволяеющей исследовать образцы до 200 мм в диаметре.
Электронно-оптическая схема микроскопа является уникальной в своем роде и состоит из электронного бустера, трёхконденсорной линзы и гибридной электромагнитной – электростатической неимерсионной объективной линзы.
Важнейшее преимущество SU7000 — обширная система детектирования: детектор Эверхарта-Торнли, два сцинтилляторных детектора в колонне, работающие даже в низком вакууме и при низких ускоряющих напряжениях, опциональный UVD детектор — детектор вторичных электронов в низком вакууме, используется для детектирования катодолюменисценции.
Возможно оснащение STEM детектором, фотодиодным BSE детектором, одновременно пятью EDX приставками и многим другим.
Все детекторы, включая EDX, оптимизированы для работы на WD = 6 мм.
Достигнуто одновременное отображение и сохранение до 6 каналов с различных детекторов.
Режим низкого вакуума от 6 до 300 Па достигается одним щелчком мыши без необходимости установки дополнительных диафрагм.
Возможен полный контроль над сканированием образца. Настраивайте удобное Вам время экспозиции точки, числа накоплений каждой строки и кадра.
Съёмки изображений проводятся в сверхвысоком разрешении 10240x7680 пикселей. Одного изображения хватает для анализа сотен и тысяч частиц.
Разрешение, полученное во вторичных электронах |
0,8 нм (15 кВ) 0,9 нм (1 кВ) |
Увеличение |
х20-2 000 000 |
Ускоряющее напряжение |
0,01 – 30 кВ (0,01 кВ – шаг) |
Перемещение |
Х: 0 -135 мм; Y: 0 -100 мм; Z: 1,5-40 мм |
Вращение |
360° |
Источник электронов |
ZrO/W катод Шоттки |
Наклон |
от -5° до 70° |
Макс. размер образца |
200 мм в диаметре, 80 мм в высоту |