Разрешение
|
полученное во вторичных электронах0,4 нм на 30 кВ 0,8 нм на 15 кВ
(в режиме торможения электронов)1,1 нм на 1 кВ
|
Электронная оптика
|
Ускоряющее напряжение 0,5 кВ — 30кВ
(режим торможения электронов) 0,01 — 3,5 кВ
Увеличение на плёнке х20 — х800 000
на мониторе х60-х2000 000
|
Столик для камеры
образцов
|
Перемещение, мм Х, Y: 110, Z: 1,5-40
Наклон от -5° до 70°
Вращение 360°
|