Разрешение, полученное во вторичных электронах
|
4 нм при 20 кВ (Высокий вакуум)
|
15 нм при 1 кВ (Высокий вакуум)
|
|
В обратно-рассеяных электронах: 5 нм при 20 кВ (Низкий вакуум)
|
|
Электронная оптика
|
Ускоряющее напряжение 0,3 – 20 кВ
|
Увеличение приборное 6х – 300 000х
|
|
На экране монитора 16х – 800 000х
|
|
Столик для камеры образцов
|
X: 0 – 40 мм; Y: 0 – 50 мм; Z: 5 – 15 мм
|
Вращение: 360°
|
|
Наклон: от -15° до +90°
|
|
Максимальный размер образца
|
Диаметр: 80 мм; Высота: 40 мм
|